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Transcript

Les pompes primaires, situées généralement au niv2 du basement, aspirent les gaz présents dans la chambre de process et les refoulent vers un équipement d'Abatement (ou scrubber).


Une pompe est un appareil tournant mécanique qui gènère une dépression dans la ligne de pompage et pousse les gaz vers la sortie.


C'est une pompe sèche qui ne comporte surtout pas d'huile ! L'huile peut en effet remonter le courant du pompage et aller contaminer la plaque. C'est la rétrodiffusion.

Le soufflet métallique, appelé bellow ou tombac, est là 1) pour encaisser l'éventuel léger désalignement de la pompe par rapport à la ligne de pompage et 2) pour éviter de transmettre les vibrations de la pompe.

On injecte en général de l'azote en amont de la pompe (donc dans la ligne de pompage) pour diluer les gaz aspirés et augmenter l'efficacité de la pompe.