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Transcript

Dans une chambre de process, on va souvent allumer un plasma pour déposer un matériau sur la plaque, ou bien pour graver des motifs sur la plaque, ou encore pour nettoyer la plaque.


Ces chambres à plasma sont les chambres les plus complexes utilisant des gaz. C'est pourquoi nous nous concentrons dessus aujourd'hui.

Enfin, allumer un plasma a pour effet secondaire de faire augmenter, parfois considérablement, la température de la chambre, des parois et des pièces qui s'y trouvent.


Pour éviter que les joints ou des pièces ne fondent, il faut refroidir la chambre.


2 solutions pour cela :

- faire passer un serpentin d'eau de refroidissement autour de la chambre, ou dans certaines parties de l'équipement.

- faire passer un fluide caloporteur qui refroidit la chambre (comme dans votre réfrigérateur). Ce fluide tourne en boucle et est refroidi au basement par un chiller.

Enfin, allumer un plasma a pour effet secondaire de faire augmenter, parfois considérablement, la température de la chambre, des parois et des pièces qui s'y trouvent.


Pour éviter que les joints ou des pièces ne fondent, il faut refroidir la chambre.


2 solutions pour cela :

- faire passer un serpentin d'eau de refroidissement autour de la chambre, ou dans certaines parties de l'équipement.

- faire passer un fluide caloporteur qui refroidit la chambre (comme dans votre réfrigérateur). Ce fluide tourne en boucle et est refroidi au basement par un chiller.

Enfin, allumer un plasma a pour effet secondaire de faire augmenter, parfois considérablement, la température de la chambre, des parois et des pièces qui s'y trouvent.


Pour éviter que les joints ou des pièces ne fondent, il faut refroidir la chambre.


2 solutions pour cela :

- faire passer un serpentin d'eau de refroidissement autour de la chambre, ou dans certaines parties de l'équipement.

- faire passer un fluide caloporteur qui refroidit la chambre (comme dans votre réfrigérateur). Ce fluide tourne en boucle et est refroidi au basement par un chiller.